源測(cè)量單元( SMU )
四象限精密型 SMU
0.02% 源測(cè)量精度
2 uV 設(shè)定分辨率,15 nV 測(cè)量分辨率
1 pA 設(shè)定分辨率,10 fA 測(cè)量分辨率
適用于半導(dǎo)體、傳感器、模組等 IVR 測(cè)試測(cè)量